TY - GEN A1 - Langa, Sergiu A1 - Drabe, Christian A1 - Kunath, Christian A1 - Dreyhaupt, André A1 - Schenk, Harald T1 - Wafer level vacuum packaging of scanning micro-mirrors using glass-frit and anodic bonding methods T2 - SPIE Conference MOEMS and Miniaturized Systems XII, San Francisco, 2013 Y1 - 2013 SN - 978-0-8194-9385-9 U6 - https://doi.org/10.1117/12.2003525 SP - 86140F-1 EP - 86140F-8 PB - SPIE CY - Bellingham, Wash. ET - 1. Auflage ER - TY - PAT A1 - Conrad, Holger A1 - Gaudet, Matthieu A1 - Schenk, Harald A1 - Uhlig, Sebastian T1 - Micromechanical devices with mechanical actuators Y1 - 2023 UR - https://www.freepatentsonline.com/11639718.html ER - TY - GEN A1 - Stolz, Michael A1 - Mrosk, Andreas A1 - Kaiser, Bert A1 - Langa, Sergiu A1 - Ehrig, Lutz A1 - Conrad, Holger A1 - Gaudet, Matthieu A1 - Schenk, Harald T1 - Optische Charakterisierungsmethoden von siliziumbasierten MEMS mit verdeckten Strukturen T2 - MikroSystemTechnik-Kongress, Berlin, Germany, 2019 N2 - In der Arbeitsgruppe integrierte Siliziumsysteme des Fraunhofer IPMS werden am Standort Cottbus innovative Anwen-dungen eines neuartigen nanoskopischen elektrostatischen Antriebs (nanoskopic electrostatic drive – NED) untersucht. Eine der vielversprechendsten Anwendungen sind Lautsprecher. Vollständig aus Silizium gefertigte MEMS-Lautsprecher auf Basis von NED-Biegeaktoren werden vor den akustischen Messungen mechanisch und elektrisch cha-rakterisiert. Beidseitig eingespannte elektrostatisch betriebene in-plane NED-Aktoren werden dabei über einen Fre-quenzbereich von 20 Hz bis 20 kHz angeregt. Dabei sind die Strukturen oft verdeckt, was ihre Charakterisierung er-schwert. Es werden zerstörungsfreie optische Methoden präsentiert, mit deren Hilfe die Bestimmung der mechanischen Schwingungseigenschaften einzelner Aktoren ermöglicht wird sowie die Beweglichkeit im verdeckten Zustand nach-gewiesen werden kann. Y1 - 2019 UR - https://www.ipms.fraunhofer.de/de/events/2019/mst-kongress.html SP - 366 EP - 369 PB - VDE-Verlag ER - TY - CHAP A1 - Sandner, Thilo A1 - Grashoff, Thomas A1 - Schwarzenberg, Markus A1 - Schroedter, R. A1 - Schenk, Harald T1 - Quasi-static microscanner with linearized raster scanning for an adaptive 3D-laser camera T2 - SPIE Conference: MOEMS and Miniaturized Systems XIII, San Francisco, 2014 Y1 - 2014 SN - 978-0-8194-9890-8 SP - 897717-1 EP - 897717-9 PB - SPIE Press CY - Bellingham ER - TY - PAT A1 - Schenk, Harald A1 - Conrad, Holger T1 - MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids und Verfahren zum Herstellen desselben T1 - MEMS converter for interacting with a volume flow of a fluid and method of manufacturing the same Y1 - 2018 ER - TY - PAT A1 - Schenk, Harald A1 - Grahmann, Jan A1 - Wagner, Hans-Joachim A1 - Ostendorf, Ralf A1 - Rattunde, Marcel T1 - Mikromechanisches System zum Durchstimmen von Lasern (Micromechanical system for tuning of lasers) Y1 - 2015 ER - TY - CHAP A1 - Sandner, Thilo A1 - Kimme, S. A1 - Grashoff, Thomas A1 - Todt, U. A1 - Graf, A. A1 - Tulea, C. A1 - Lenenbach, A. A1 - Schenk, Harald T1 - Micro-scanning mirrors for high-power laser applications in laser surgery T2 - MOEMS and miniaturized systems XIII, 3 - 6 February 2014, San Francisco, California, United States Y1 - 2014 SN - 978-0-8194-9890-8 SP - 897705-1 EP - 897705-11 PB - SPIE Press CY - Bellingham ER - TY - CHAP A1 - Sandner, Thilo A1 - Grashoff, Thomas A1 - Schwarzenberg, Markus A1 - Schenk, Harald A1 - Tortschanoff, Andreas T1 - Quasistatic microscanner with linearized raster scanning for an adaptive 3D-laser camera T2 - SPIE Conference MOEMS and Miniaturized Systems XII, San Francisco, 2013 Y1 - 2013 SN - 978-1-4799-1512-5 SP - 861605-1 EP - 861605-6 PB - SPIE CY - Bellingham, Wash. ER - TY - PAT A1 - Costache, Florenta Adriana A1 - Blasl, Martin A1 - Schenk, Harald T1 - Apparatus and method for guiding optical waves Y1 - 2014 ER - TY - GEN A1 - Schweiger, Severin A1 - Melnikov, Anton A1 - Koch, Sandro G. A1 - Schenk, Harald T1 - Two-Photon Lithography Parameter Study for Manufacturing of Acoustic Metamaterials on MEMS T2 - MikroSystemTechnik Kongress 2021 : Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen Innovative Produkte für zukunftsfähige Märkte 08. – 10. November 2021, Stuttgart-Ludwigsburg N2 - Acoustic impedance matching structures can be used on capacitive micromachined ultrasonic transducers (CMUT) to increase acoustic energy transmission into the load medium. Our contribution contains a systematic study of the viability of the two-photon-polymerization lithography process for the fabrication of acoustic impedance matching metamaterials. For this purpose, acoustic simulations were conducted to find optimized dimensions of the matching structure. Based on the proposed dimensions, parameter sweeps were manufactured on substitute substrates, resulting in a viable parameter space for the direct fabrication on CMUT devices. Y1 - 2021 UR - https://www.vde-verlag.de/proceedings-de/455656092.html SN - 978-3-8007-5656-8 SP - 365 EP - 368 PB - VDE-Verlag CY - Berlin ; Offenbach ER -