@inproceedings{StudenerKuehhorn, author = {Studener, Johannes and K{\"u}hhorn, Arnold}, title = {FE-Untersuchungen zum dynamischen Verhalten einer integralen Verdichterschaufelscheibe neuer Generation}, series = {Tagungsband, 14. deutschsprachiges ABAQUS Anwendertreffen, 23. - 24. September 2002 in Wiesbaden}, booktitle = {Tagungsband, 14. deutschsprachiges ABAQUS Anwendertreffen, 23. - 24. September 2002 in Wiesbaden}, publisher = {Abacom Software GmbH}, address = {Aachen}, abstract = {Eigenwertanalyse eines FE-Modells unter Ber{\"u}cksichtigung des Kopplungsverhaltens zwischen Schaufel und Scheibe}, language = {de} } @article{KuehhornBeirowStudener, author = {K{\"u}hhorn, Arnold and Beirow, Bernd and Studener, Johannes}, title = {Messtechnische Beanspruchungsuntersuchungen beim Transport von Glasr{\"o}hrenkollektoren}, language = {de} } @inproceedings{StudenerKuehhorn, author = {Studener, Johannes and K{\"u}hhorn, Arnold}, title = {Thermomechanische Simulation des Annealprozesses von großen Siliziumwafern}, series = {Tagungsband, 17. Deutschsprachige ABAQUS-Benutzerkonferenz 2005, 19. - 20. September 2005, N{\"u}rnberg}, booktitle = {Tagungsband, 17. Deutschsprachige ABAQUS-Benutzerkonferenz 2005, 19. - 20. September 2005, N{\"u}rnberg}, publisher = {ABAQUS Deutschland GmbH}, address = {Aachen [u.a.]}, language = {de} } @phdthesis{Studener, author = {Studener, Johannes}, title = {Zur thermomechanischen Modellierung von Annealprozessen f{\"u}r große Silizium-Waferscheiben}, publisher = {Der Andere Verlag}, address = {Uelvesb{\"u}ll}, isbn = {978-3-89959-502-4}, pages = {XI, 140}, abstract = {Diese Arbeit besch{\"a}ftigt sich mit einem Prozeßschritt bei der Herstellung von Siliziumwafern, welche als Ausgangsprodukt f{\"u}r Halbleiterbauelemente dienen. Die Wafer durchlaufen bei der Herstellung unterschiedliche Prozesse, unter anderem das Annealing. W{\"a}hrend des Anneals werden intrinsische Kristalldefekte, sog. Crystal originated Pits (COPs), bei {\"u}ber 1000°C thermisch aufgel{\"o}st. Der Temperaturbereich liegt dabei 200-300 °C unterhalb der Schmelztemperatur von Silizium. Demzufolge ist die Fließgrenze extrem herabgesetzt, so daß es infolge mechanischer und thermischer Belastungen zum Vergleiten (Fließen) im Kristallgitter und damit zur Qualit{\"a}tsbeeintr{\"a}chtigung kommen kann. Es wird erstmals aus mechanischer Sicht der komplexe Annealprozeß mit allen Einzelaspekten simulatorisch abgebildet und quantitativ erfaßbar gemacht. Dabei wird zum Einen das Ziel verfolgt, ein Lagerungskonzept zu entwickeln, welches den Anspr{\"u}chen an Reinheit, Temperaturbest{\"a}ndigkeit und Herstellbarkeit gerecht wird und zum Anderen den gesamten Anneal - Prozeß so zu gestalten, daß die Ausbeute von Wafern pro Zeiteinheit maximiert wird, ohne mit unerw{\"u}nschten Vergleitungen rechnen zu m{\"u}ssen. Die vorliegende Arbeit gliedert sich in einen Grundlagenteil und einen praktischen Teil. Wesentlich f{\"u}r die Erfassung des Prozesses im Simulationsmodell sind verschiedene Effekte, welche zun{\"a}chst theoretisch anhand einfacher analytischer und numerischer Beispiele, sowie versuchstechnisch aufgearbeitet werden sollen. Die in der Arbeit untersuchten Effekte beziehen sich auf: - die besonderen Materialeigenschaften des Silizium - Einkristalls, insbesondere dessen temperaturabh{\"a}ngige Fließgrenze (Upper Yield Stress) - das Lagerungskonzept, verbunden mit Kontaktproblemen zwischen Wafer und Lager (Support) - das Biegeproblem im Wafer - das Aufheizproblem bedingt durch die W{\"a}rme{\"u}bertragungsmechanismen Strahlung (zwischen Ofenwand und Wafer/Support), Leitung (innerhalb des Wafers und des Supports) und Konvektion des Gases (innerhalb des Ofens) Im praktischen Teil soll der Anneal mit Hilfe von Simulationssoftware (Finite Elemente Methode, Computational Fluid Dynamics), durch Optimierung der Lagerung und des Aufheizprozesses verbessert werden. F{\"u}r die Bearbeitung dieses Kapitels werden die Untersuchungen aus dem theoretischen Teil der Arbeit als Referenz herangezogen.}, language = {de} } @article{KuehhornBeirowGolzeetal., author = {K{\"u}hhorn, Arnold and Beirow, Bernd and Golze, Mark and Studener, Johannes}, title = {Strukturmechanische Analyse einer Triebwerksverdichter-Schaufelscheibe}, abstract = {Die Verbesserung von Kalibriermethoden f{\"u}r Hochdruckverdichterstufen in ausgef{\"u}hrter Integralbauweise verlangt von den Ingenieuren ein detaillierteres Verst{\"a}ndnis der strukturdynamischen Zusammenh{\"a}nge dieses komplexen Bauteils. Als Ausgangsbasis werden zun{\"a}chst f{\"u}r das perfekte Normdesign bei Ausnutzung der vorliegenden zyklischen Rotationssymmetrie numerische Ergebnisse vorgestellt. Dabei stehen bez{\"u}glich des Schwingverhaltens die Kopplungseffekte zwischen Scheibe und Schaufeln im Mittelpunkt, wobei experimentelle Untersu-chungen am realen Bauteil erg{\"a}nzend hinzugezogen werden. Zuk{\"u}nftig wird in einem weiteren Schritt im Rahmen erheblich aufwendigerer Berechnungen mit der Ber{\"u}cksichtigung von Imperfektionen hinsichtlich der filigranen Schaufeln die Rotationssymmetrie aufgegeben und somit die Basis f{\"u}r eine gezielte Beeinflussung des Schwingverhaltens infolge von Mistuning - Effekten geschaffen.}, language = {de} } @inproceedings{StudenerKuehhorn, author = {Studener, Johannes and K{\"u}hhorn, Arnold}, title = {FE-Simulation des thermischen Aufheizvorganges eines Silizium-Wafers im RTA (Rapid Thermal Anneal) - Prozess}, series = {Tagungsband, 15. Deutschsprachige ABAQUS-Benutzerkonferenz, 22. - 23. September 2003, Fulda}, booktitle = {Tagungsband, 15. Deutschsprachige ABAQUS-Benutzerkonferenz, 22. - 23. September 2003, Fulda}, publisher = {ABAQUS Deutschland GmbH}, address = {Aachen [u.a.]}, language = {de} }