@phdthesis{Michling, author = {Michling, Marcel Frank}, title = {Spektroskopische Untersuchungen an organischen Materialien und Metalloxiden}, url = {http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:co1-opus-29014}, pages = {181}, abstract = {Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wurde mit Synchrotron-basierenden, optischen und Elektronen-basierenden Methoden die elektronischen Eigenschaften zweier unterschiedlicher Materialklassen untersucht. Der Fokus lag dabei im besonderen auf der Bestimmung der Gr{\"o}ße der Bandl{\"u}cke/HOMO-LUMO-L{\"u}cke und ihre Abh{\"a}ngigkeit der verwendeten Methode. Die zwei unterschiedliche Materialklassen, welche untersucht wurden sind folgende: Erstens die organischen Systeme Cobalt-Phthalocyanin und Fulleren. An Ihnen wird der Einfluss der verwendeten Messmethoden aufgezeigt und die sich draus ergebenen HOMO- LUMO-L{\"u}cken (elektronisch, Volumen, Oberfl{\"a}che, optisch) diskutiert. Es zeigt sich, dass die optische Methode (Ellipsometrie) generell den kleinsten Wert und die elektronischen Methoden (XPS, XAS) den gr{\"o}ßten Wert ergeben. Die Gr{\"u}nde daf{\"u}r werden ausf{\"u}hrlich diskutiert. Durch die Kombination von XPS- , XAS- und Ellipsometrie-Messungen war es m{\"o}glich die Orientierung der aufgedampften CoPc-Molek{\"u}le auf den SiO2-Substrat zu bestimmen. Zweitens wurden die Metalloxide HfO2, Al2O3, In2O3 und Ga2O3 aufgrund ihrer großen technologischen Bedeutung untersucht. Mit Hilfe von ALD Zyklus-f{\"u}r-Zyklus Experimenten konnten die elektronischen Eigenschaften von HfO2 in Abh{\"a}ngigkeit der ALD- Zyklenzahl und das Wachstum von HfO2 in den ersten Zyklen studiert werden. Auf Basis der XPS- und EELS-Ergebnisse wurde ein Wachstumsmodell entwickelt. Es wird ebenfalls der Einfluss einer Dipolschicht an der Grenzfläche HfO2/SiO2 auf die Gr{\"o}ße der Bandl{\"u}cke in den EELS-Messungen diskutiert. Mittels resonanten Photoemission wurde ein neuer Auger-Mechanismus (3-Loch-Auger-Prozess) in den Oxiden gefunden. Dieser hat seine Ursache in Defekten. Defekte f{\"u}hren auch zu einer Fano-Anti-Resonanz, welche an der O1s-Absorptions-Kante beobachtet und diskutiert wird.}, language = {de} }