@inproceedings{HoffmannBoehmeSchmeisseretal., author = {Hoffmann, Patrick and B{\"o}hme, Oliver and Schmeißer, Dieter and Lloyd Spetz, Anita and M{\aa}rtenson, Per}, title = {Einfluß von Nanopartikeln auf die Funktion von Hochtemperatursensoren}, series = {Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft}, booktitle = {Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft}, publisher = {Deutsche Physikalische Gesellschaft}, address = {Bad Honnef}, abstract = {Es werden Untersuchungen an als Hochtemperatur-Sensoren arbeitenden Schottky-Dioden mit dem Aufbau Metall-Oxidschicht-Siliziumkarbid vorgestellt. Dazu wurden Tiefenprofile mit XPS durch abwechselndes Abtragen durch Sputtern und Messen erstellt. Die Messungen erfolgten an thermisch unterschiedlich vorbehandelten Proben. Dabei konnten dipol-bedingte Verschiebungen der Bindungsenergie von Rumpfniveaus beobachtet werden. Das dazu notwendige Dipol-Moment wird durch das Entstehen von mit einer Oxidschicht {\"u}berzogenen Nanoteilchen erkl{\"a}rt. Die unterschiedlich ausgepr{\"a}gten Dipol-Verschiebungen auf den einzelnen Proben erlaubten eine Erkl{\"a}rung der thermischen Vorbehandlung, die bei Weglassen zu „frischen" und je nach Temperatur zu „aktivierten" oder „toten" Sensoren f{\"u}hrte.}, language = {de} }