@misc{RuffertSchenkKaiseretal., author = {Ruffert, Christine and Schenk, Hermann A. G. and Kaiser, Bert and Ehrig, Lutz and Monsalve Guaracao, Jorge Mario and Langa, Sergiu and Wall, Franziska and Melnikov, Anton and Stolz, Michael and Morsk, Andreas and Schuffenhauer, David and Conrad, Holger and Schenk, Harald}, title = {Elektrostatischer Gegentakt NED-Aktor f{\"u}r Im-Ohr-µLautsprecher}, doi = {10.24406/publica-2553}, language = {de} } @misc{SchenkLanga, author = {Schenk, Harald and Langa, Sergiu}, title = {MEMS-Bauelement und Verfahren zum Herstellen eines MEMS-Bauelements}, abstract = {Ein Verfahren zum Herstellen eines MEMS-Bauelements umfasst ein Bereitstellen eines Halbleitersubstrats, ein Ausf{\"u}hren eines anisotropen nasschemischen {\"A}tzprozesses in dem Halbleitersubstrat, um zumindest ein bewegliches Element aus dem Halbleitersubstrat herauszubilden, und ein Erzeugen eines Schichtstapels, so dass das bewegliche Element in einer Kavit{\"a}t und in einer ersten MEMS-Schicht zwischen einer zweiten MEMS-Schicht und einer dritten MEMS-Schicht angeordnet ist, um mit einem in der Kavit{\"a}t angeordneten Fluid zu interagieren.}, language = {de} }