@phdthesis{Zimmer, author = {Zimmer, Fabian}, title = {Herstellung und Charakterisierung hocheffzienter, mikromechanischer NIR-Beugungsgitter f{\"u}r den Einsatz in miniaturisierten Spektrometern}, url = {http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:co1-opus-25224}, pages = {XVI, 127}, language = {de} } @misc{ConradSchenkSchirrmannetal., author = {Conrad, Holger and Schenk, Harald and Schirrmann, Christian and Zimmer, Fabian and Schmidt, Jan-Uwe and Sandner, Thilo}, title = {Micromechanical element}, language = {en} }