TY - THES A1 - Heuer, Henning T1 - Auf Tantal-Silizium basierende Diffusionsbarrieren zur Verkapselung funktionaler Bauelemente KW - Tantal KW - Solarzelle KW - Verkapselung KW - Diffusionsbarrieren KW - Flexible Solarzellen KW - Tantal-Silizium KW - Dünne Schichten Y1 - 2007 UR - https://opus4.kobv.de/opus4-UBICO/frontdoor/index/index/docId/3284 UR - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:kobv:co1-opus-10 ER -