TY - GEN A1 - Conrad, Holger A1 - Gaudet, Matthieu A1 - Schenk, Harald A1 - Uhlig, Sebastian T1 - Mikromechanical devices with mechanical actuators T1 - Mikromechanische Bauelemente mit mechanischen Aktuatoren Y1 - 2019 UR - https://opus4.kobv.de/opus4-UBICO/frontdoor/index/index/docId/23081 ER -