@inproceedings{StudenerKuehhorn2004, author = {Johannes Studener and Arnold K{\"u}hhorn}, title = {FE-Simulation des thermischen Aufheizvorganges eines Silizium-Wafers im RTA (Rapid Thermal Anneal) - Prozess}, booktitle = {Tagungsband, 15. Deutschsprachige ABAQUS-Benutzerkonferenz, 22. - 23. September 2003, Fulda}, year = {2004}, }