TY - CONF A1 - Conrad, Holger A1 - Gaudet, Matthieu A1 - Kaiser, Bert A1 - Langa, Sergiu A1 - Stolz, Michael A1 - Schenk, Harald T1 - CMOS-kompatible elektrostatische Biegeaktoren (CMOS-compatible electrostatic actuators T2 - MikroSystemTechnik Kongress 2017, München, Germany, 23.-25. Oktober 2017 Y1 - 2019 UR - https://opus4.kobv.de/opus4-UBICO/frontdoor/index/index/docId/23058 SN - 978-3-8007-4491-6 SP - 219 EP - 222 PB - VDE-Verlag CY - Berlin [u.a.] ER -