TY - GEN A1 - Schenk, Harald A1 - Sandner, Thilo T1 - Mikromechanisches Bauelement mit erhöhter Steifigkeit und Verfahren zum Herstellen desselben (Micromechanical component having inncreased stiffness, and method for the production of the same Y1 - 2016 UR - https://opus4.kobv.de/opus4-UBICO/frontdoor/index/index/docId/15973 ER -