@misc{SchenkSandner2016, author = {Harald Schenk and Thilo Sandner}, title = {Mikromechanisches Bauelement mit erh{\"o}hter Steifigkeit und Verfahren zum Herstellen desselben (Micromechanical component having inncreased stiffness, and method for the production of the same}, institution = {FG Mikro- und Nanosysteme}, type = {patent}, year = {2016}, }