TY - GEN A1 - Stolz, Michael A1 - Mrosk, Andreas A1 - Kaiser, Bert A1 - Langa, Sergiu A1 - Ehrig, Lutz A1 - Conrad, Holger A1 - Gaudet, Matthieu A1 - Schenk, Harald T1 - Optische Charakterisierungsmethoden von siliziumbasierten MEMS mit verdeckten Strukturen T2 - MikroSystemTechnik-Kongress, Berlin, Germany, 2019 N2 - In der Arbeitsgruppe integrierte Siliziumsysteme des Fraunhofer IPMS werden am Standort Cottbus innovative Anwen-dungen eines neuartigen nanoskopischen elektrostatischen Antriebs (nanoskopic electrostatic drive – NED) untersucht. Eine der vielversprechendsten Anwendungen sind Lautsprecher. Vollständig aus Silizium gefertigte MEMS-Lautsprecher auf Basis von NED-Biegeaktoren werden vor den akustischen Messungen mechanisch und elektrisch cha-rakterisiert. Beidseitig eingespannte elektrostatisch betriebene in-plane NED-Aktoren werden dabei über einen Fre-quenzbereich von 20 Hz bis 20 kHz angeregt. Dabei sind die Strukturen oft verdeckt, was ihre Charakterisierung er-schwert. Es werden zerstörungsfreie optische Methoden präsentiert, mit deren Hilfe die Bestimmung der mechanischen Schwingungseigenschaften einzelner Aktoren ermöglicht wird sowie die Beweglichkeit im verdeckten Zustand nach-gewiesen werden kann. Y1 - 2019 UR - https://opus4.kobv.de/opus4-UBICO/frontdoor/index/index/docId/24842 UR - https://www.ipms.fraunhofer.de/de/events/2019/mst-kongress.html SP - 366 EP - 369 PB - VDE-Verlag ER -