@misc{GrahmannWagnerOstendorfetal.2015, author = {Jan Grahmann and Hans-Joachim Wagner and Ralf Ostendorf and Harald Schenk and Marcel Rattunde}, title = {MEMS basiertes Durchstimmen von Lasern}, institution = {FG Mikro- und Nanosysteme}, type = {patent}, year = {2015}, }