Determination of line profile on nanostructured surfaces using EUV and x-ray scattering
Verfasserangaben: | Victor Soltwisch, Jan Wernecke, Anton Haase, Jürgen Probst, Max Schoengen, Frank Scholze, Jan Pomplun, Sven BurgerORCiD |
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Dokumentart: | Konferenzbeitrag |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Proc. SPIE |
Band: | 9235 |
Erste Seite: | 92351D |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2014 |
DOI: | https://doi.org/10.1117/12.2066165 |