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Determination of line profile on nanostructured surfaces using EUV and x-ray scattering

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Verfasserangaben:Victor Soltwisch, Jan Wernecke, Anton Haase, Jürgen Probst, Max Schoengen, Frank Scholze, Jan Pomplun, Sven BurgerORCiD
Dokumentart:Konferenzbeitrag
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Proc. SPIE
Band:9235
Erste Seite:92351D
Jahr der Erstveröffentlichung:2014
DOI:https://doi.org/10.1117/12.2066165
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