Overview Statistic: PDF-Downloads (blue) and Frontdoor-Views (gray)

Determination of line profiles on photomasks using DUV, EUV and X-ray scattering

Export metadata

Additional Services

Share in Twitter Search Google Scholar Statistics - number of accesses to the document
Metadaten
Author:Frank Scholze, Bernd Bodermann, Sven BurgerORCiD, Johannes Endres, Anton Haase, Michael Krumrey, Christian Laubis, Victor Soltwisch, Albrecht Ullrich, Jan Wernecke
Document Type:In Proceedings
Parent Title (English):Proc. SPIE
Volume:9231
First Page:92310M
Year of first publication:2014
DOI:https://doi.org/10.1117/12.2065941
Accept ✔
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu. Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.