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Reduced basis method for real-time inverse scatterometry

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Metadaten
Author:Jan Pomplun, Sven BurgerORCiD, Lin Zschiedrich, Frank Schmidt
Document Type:In Proceedings
Parent Title (English):Modelling Aspects in Optical Metrology III
Volume:8083
First Page:808308
Publisher:Proc. SPIE
Year of first publication:2011
DOI:https://doi.org/10.1117/12.889892
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