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Finite element analysis of EUV lithography

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Metadaten
Author:Jan Pomplun, Sven BurgerORCiD, Frank Schmidt, Frank Scholze, Christian Laubis, Uwe Dersch
Editor:Harald Bosse
Document Type:In Proceedings
Parent Title (English):Modeling Aspects in Optical Metrology
Volume:6617
First Page:661718
Publisher:Proc. SPIE
Year of first publication:2007
DOI:https://doi.org/10.1117/12.726156
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