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Reduced basis method for computational lithography

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Metadaten
Author:Jan Pomplun, Lin Zschiedrich, Sven BurgerORCiD, Frank Schmidt
Document Type:In Proceedings
Parent Title (English):Photomask Technology
Volume:7488
First Page:74882B
Publisher:Proc. SPIE
Year of first publication:2009
DOI:https://doi.org/10.1117/12.829639
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