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Benchmark of rigorous methods for electromagnetic field simulation

Metadaten
Author:Sven BurgerORCiD, Lin Zschiedrich, Frank Schmidt, Peter Evanschitzky, Andreas Erdmann
Editor:H. Kawahira, L. S. Zurbrick
Document Type:In Proceedings
Parent Title (English):Photomask Technology
Volume:7122
First Page:71221
Publisher:Proc. SPIE
Year of first publication:2008
URL:http://dx.doi.org/10.1117/12.801248
DOI:https://doi.org/10.1117/12.801248
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