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EMF Simulations of Isolated and Periodic 3D Photomask Patterns

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Metadaten
Author:Sven BurgerORCiD, Lin Zschiedrich, Frank Schmidt, Roderick Köhle, Bernd Küchler, Christoph Nölscher
Document Type:In Proceedings
Parent Title (English):Photomask Technology
Volume:6730
First Page:6630
Publisher:Proc. SPIE
Year of first publication:2007
URL:http://arxiv.org/pdf/0709.3934
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