Overview Statistic: PDF-Downloads (blue) and Frontdoor-Views (gray)

Simulation method improves accuracy for optical metrology and nanooptics design

Metadaten
Author:Sven BurgerORCiD
Document Type:Article
Parent Title (English):SPIE Newsroom
Year of first publication:2009
DOI:https://doi.org/10.1117/2.1200905.1629
Accept ✔
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu. Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.